Aprašymas: Vakuuminės kameros tūris - 75 litrai.; Apskrito dengiamo pavyzdžio diametras iki 300 mm; magnetrono taikinio dydis (diametras) 50.8 cm su dengimo kaminu; Substrato pakaitinimas, maksimali temperatūra, 350 oC; bazinis vakuumo kameros slėgimas, 2x10-7 Torr.

Pagrindinės taikymo sritys: vakuuminis magnetroninis metalų (chromas ir auksas) kontroliuojamo storio sluoksnių (dangų) formavimas kontroliuojamo slėgio (vakuumo) aplinkoje.

https://www.lesker.com/newweb/ped/physical-vapor-deposition-systems.cfm
https://www.lesker.com/newweb/vacuum_systems/deposition_systems_pvd_prolinepvd75.cfm

Įrangos naudojimo mokymai vietoje: ne
Įranga gali naudotis tik kvalifikuoti specialistai: taip
Asmeninio asistento pagalba: yra

VU ID: 8042984 -2
Patalpa: C446
Padalinys: BChI

Susisiekite su mokslininkais:

Dr. Tadas Ragaliauskas
+370 5 223 4401